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TOYO FCE10铁电分析仪
TOYO FCE10 系列铁电分析仪是日本 TOYO Corporation面向铁电、压电及相关功能材料研发推出的高性能电学特性分析测试平台。系统集成高速高精度信号源、TOYO 自主研发的虚拟 QV / IV 转换测量电路 以及多种先进测试模式,可对材料在不同电场、频率、温度及脉冲条件下的电学行为进行全面、定量、可重复的精确表征。
该系统可实现从基础铁电回线测试到先进脉冲与可靠性分析的全流程覆盖,是当前铁电与新型功能材料研究领域广泛采用的标准测试设备之一。
功能与测试能力
FCE10 系列支持多种静态与动态电学测试模式,满足从材料机理研究到器件级可靠性评估的多层次需求:
动态铁电电滞回线(P–E Loop)测量
高速采样,真实反映极化翻转过程与非线性行为;
漏电流(I–V)特性测量
有效区分导电分量与极化电流,提高数据可信度;
PUND 测量(Positive-Up-Negative-Down)
精准分离可切换极化与不可切换电荷,适用于薄膜与存储材料;
三角波 / 双脉冲测量
适配不同材料体系与驱动条件,支持自定义波形;
疲劳与保持特性(Fatigue / Retention)测试
用于长期可靠性与器件寿命评估;
压电形变系数(d33 等)测量
支持电-机耦合性能的定量分析;
热释电系数测量
用于红外探测、传感材料研究;
LCR 电路与电流共振分析
对介电特性、频率响应与等效电路模型进行深入研究。
典型应用领域
FCE10 系列广泛应用于前沿材料研究与产业化开发,覆盖多种材料形态与器件结构:
陶瓷材料
MLCC / MLCI 用介电与铁电陶瓷研发与性能评估;
压电与铁电材料
PZT、PMN-PT 等体材料及复合材料表征;
薄膜材料研究
AlScN、HfO₂ / HfZrO₂(HZO)等新一代强铁电薄膜;
MEMS 与微器件
微致动器、传感器及集成铁电器件;
铁电存储器(FeRAM)
极化翻转特性、疲劳与保持特性测试;
高温 / 高场 / 脉冲工况研究
适用于可靠性、老化及极端条件下的电学行为分析。
核心优势
1. 高压高速脉冲驱动能力
支持高速 PUND、Hysteresis、Fatigue 等多种脉冲测试模式,满足先进存储与薄膜材料测试需求。
2. 超高灵敏度电荷测量
采用 TOYO 自研虚拟 QV/IV 转换技术,尤其适合薄膜、小面积电极及低极化电荷样品。
3. 模块化与高度可扩展架构
可根据应用需求灵活配置高压电源、探头台、样品夹具及环境附件,支持定制化测试方案。
4. 专业而易用的软件平台
图形化界面友好,支持自动参数寻优、测试流程脚本化与批量测试,大幅提升实验效率与数据一致性。
5. 行业认可度
FCE10 系列已被全球众多高校、科研机构及材料与器件厂商广泛采用,尤其在铁电薄膜、新型存储材料及先进陶瓷领域中,被视为高可靠性、高精度的标准分析测试系统。
规格参数:
| 高速款 | 标准款 | 基础款 | |
| 型号 | FCE10-F | FCE10-S | FCE10-B |
| 施加波形 | |||
| 三角波频率 | ~1MHz | ~10kHz | ~1kHz |
| 最小脉冲幅宽 | 200ns | 5μs | × |
| 最大施加电压(标准) | ±10V | ~±10V | ~±10V |
| 最大施加电压(选配) | ±100V | ~±10kV | ~±10kV |
| 测量功能 | |||
| 电滞回线测量 | 支持 | 支持 | 支持 |
| 漏电流测量 | 支持 | 支持 | × |
| PUND脉冲分极测量 | 支持 | 支持 | × |
| 脉冲三角波分极测量 | 支持 | 支持 | × |
| 自动脚本功能 | 支持 | 支持 | × |
| 形变测量 | 支持(需配置形变测量仪) | 支持(需配置形变测量仪) | 支持(需配置形变测量仪) |
| 远程控制 | 选配 | 选配 | 选配 |
| ※1 需要追加形变测量仪 | |||
| ※2 △为选配项 | |||
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