静电吸盘等静压机LT20001

PTC LT20001静电吸盘等静压机是一款专为大尺寸静电吸盘陶瓷的等静压成型工艺而设计的层压设备。该设备在半导体陶瓷部件如静电吸盘、探针卡等多层电子陶瓷技术领域有广泛应用。其运行基于流体静力学的帕斯卡定律，以水为压力传递介质，在密闭腔体内对产品施加各向均匀的压力，有助于形成致密度符合预期的陶瓷坯体。

PTC LT20001温等静压机是一款专为大尺寸静电吸盘陶瓷的等静压成型工艺而设计的层压设备。该设备在半导体陶瓷部件如静电吸盘、探针卡等多层电子陶瓷技术领域有广泛应用。其运行基于流体静力学的帕斯卡定律，以水为压力传递介质，在密闭腔体内对产品施加各向均匀的压力，有助于形成致密度符合预期的陶瓷坯体。

应用领域：
静电吸盘，探针卡，陶瓷基板，加热器等半导体陶瓷部件。

设备特点：

大腔体：500mm腔体直径，满足静电吸盘、探卡卡等大尺寸陶瓷巴块层压

压力与温度控制：压强精度±50psi，温度精度±2℃，旨在实现稳定的坯体成型。

可编程压力曲线：具备分段升降压功能，可根据工艺需求灵活设定压力变化流程。

结构设计：整机结构紧凑，旨在节省厂房空间。

人机界面：人机界面设计简洁，使用方便易学。

技术基础：产品设计融入了近40年的行业技术经验。

基本参数：

型号	LT20001
压强(max.)	8000psi(55MPa)
压强精度	±50psi
温度(max.)	85℃（可选配至93℃）
温度精度	±2℃
腔体尺寸(WDH)	203508570mm
适用巴块尺寸	≤20"
外形尺寸 (WDH)	135014101965mm
电源	380VAC, 3相, 32A
气源	100PSI(0.7Mpa)
水源	纯净水，去离子水

温等静压机选型参考表：

型号	压强(max)	适用巴块尺寸	典型应用领域
LT08001	8000psi (55MPa)	≤6英寸	HTCC, LTCC, SOFC, PIEZO,E-CHUCK等
LT12001D	8000psi (55MPa)	6英寸~10英寸	HTCC, LTCC, SOFC, PIEZO,E-CHUCK等
LT12002H	12000psi (83MPa)	6英寸~10英寸	MLCC, PIEZO等次高压需求
LT14001	8000psi (55MPa)	6英寸~12英寸	HTCC, LTCC, SOFC, PIEZO,E-CHUCK等
LT20001	8000psi (55MPa)	≤20英寸	静电吸盘，探针卡等更大尺寸巴块

PTC温等静压机彩页.pdf

PTC温等静压机视频介绍

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